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氬離子拋光機應用領域簡介

前面我們分別簡單介紹了氬離子拋光機的原理和操作流程。氬離子拋光機在石油地質、金屬材料加工、半導體、能源電池材料領域都得到了廣泛的應用，下面我們來逐一介紹：

1.石油地質領域：

鄒才能院士于 2011 年利用場發射掃描電鏡首次在中國油氣儲層中發現納米孔隙的存在，揭開了國內對于頁巖中納米級微孔隙研究的序幕，而氬離子拋光技術能夠進一步揭示頁巖內部納米級孔隙的真實形貌。為研究頁巖氣的成藏機理，運移規律，以及為將來的勘探開發提供可靠的依據。

頁巖氬離子拋光前后表面形貌對比

2.金屬材料加工領域：

平面拋光冷軋銅形貌：a)無處理銅75倍SE.b)無處理銅1600BSE.

c)350℃退火銅75倍SE.d) 350℃退火銅650倍BSE

平拋樣品在處理之前已經完成機械拋光。經過離子拋光之后表面雜質幾乎被完全去除，BSE下可以明顯觀察到板條狀組織（圖3b）和再結晶組織（不完全均勻的等軸晶）（圖3d）。

3.半導體領域：

氬離子拋光可用于芯片、LED等失效分析，以及納米量子電子器件、亞波長光學結構，表面等離激元器件等應用的微納加工。

4.能源電池材料領域：

使用CP切割＋掃描電鏡來研究電極粉末材料、電池循環后的極片、隔膜材料、電池（薄膜電池或固態電池）截面的微觀結構和元素組成等，對于了解電池及其材料的內部結構、反應機理、失效機制等具有重大意義。

以上列舉的是氬離子拋光比較常用的幾個應用方向，但氬離子拋光仍有很多未知的應用領域等待著我們去探索，相信屆時會為科研與社會生產生活帶來更大的突破與便利。

冠德科技研發的ArNanoFab 100氬離子拋光機，經過長期的測試表明，已經可以全自動連續處理樣品，并且制樣結果完全能滿足高分辨下的后續觀察與實驗，具備成熟的拋光制樣能力，已經達到國外尖端氬離子拋光技術水平，并且相較于國外設備，ArNanoFab 100價格更具優勢，今后在實驗室部署也將獲得更大的發展，這有助于推動氬離子拋光應用得到更廣泛的普及。

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